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内容简介：本书主要介绍了微纳制造科学与技术的基本理论、技术方法及工程应用，分为7章。第1章简要介绍微纳制造科学与技术的定义、重要发展阶段、主要研究方法及其新兴发展趋势等；第2章介绍微纳尺度的物理化学原理；第3章介绍丰富多彩的微纳材料和结构；第4章介绍多种多样的微纳尺度加工方法；第5章讲述各种微纳尺度的表征技术；第6章和第7章介绍微纳制造的相关应用，涵盖了微电子、物联网、航空航天、光电显示、交通运输、医疗健康等诸多领域。