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耐高温陶瓷基无线无源传感器关键技术研究

著者李晨著
ISBN9787522137278
分类号TP212 自动化技术、计算机技术
学科工学
版次第1版
出版社中国原子能出版社
丛书名
出版年2024
价格¥92.00
页码172页
类型 📄 纸质书
核心评分8.0/10
读者对象
主题词传感器—高等教育—教材
内容简介:本书围绕无源耐高温压敏元件的关键技术,在无线互感耦合传输理论研究的基础上,以Dupont 951陶瓷、氧化铝陶瓷等典型耐高温材料为出发点展开了详细的研究。通过LTCC微组装工艺技术,实现了LTCC敏感元件结构的完整性,最终实现了可以稳定地工作于400℃高温环境下的LTCC耐高温敏感元件的制造;通过结合LTCC微组装工艺技术与厚膜集成工艺技术,实现了氧化铝陶瓷压敏元件结构的完整性,实现了可以稳定地工作于800℃高温环境下的氧化铝陶瓷耐高温敏感元件的制造,为超高温环境下压力、温度参数的原位测试技术发展奠定了基础。
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