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微细加工技术

著者刘志东编著
ISBN9787301346365
分类号TG66 金属学与金属工艺
学科工学
版次第1版
出版社北京大学出版社
丛书名—
出版年2024
价格¥69.00
页码252页
类型 📄 纸质书
核心评分9.5/10
读者对象—
主题词特种加工—高等教育—教材
内容简介：本书介绍了机械加工中广义的微细加工技术，以及狭义的微细加工技术在集成电路及硅太阳能电池制造领域的应用，并以碳化硅为例，介绍了第三代半导体，从而使大家理解和掌握微细加工技术的基础知识和常用微细加工的方法、基本原理及应用。
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