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图解入门—半导体器件缺陷与失效分析技术精讲

著者(日)上田修，(日)山本秀和著,(日)可靠性技术丛书编辑委员会主编
ISBN9787111749622
分类号TN305-64 电子技术、通信技术
学科工学
版次第1版
出版社机械工业出版社
丛书名集成电路科学与技术丛书
出版年2024
价格¥99.00
页码159页
类型 📄 纸质书
核心评分8.4/10
读者对象—
主题词半导体工艺—图解
内容简介：本书共分为四章，内容包括半导体器件缺陷及失效分析技术概要、硅集成电路(LSI)的失效分析技术、功率器件的缺陷及失效分析技术、化合物半导体发光器件的缺陷及失效分析技术。
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