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薄膜生长技术

著者金克新编著
ISBN9787030766335
分类号O484.1 物理学
学科理学
版次第1版
出版社科学出版社
丛书名—
出版年2024
价格¥118.00
页码233页
类型 📄 纸质书
核心评分9.4/10
读者对象—
主题词—
内容简介：本书论述了薄膜物理与薄膜生长技术的基本内容，介绍了薄膜的形成与生长、物理化学制备薄膜的原理与方法，包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子束镀膜、化学气相沉积、脉冲激光分子束外延法等。
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