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碳化硅压阻式高温压力传感器关键技术研究

著者李永伟著
ISBN9787569340266
分类号TP212 自动化技术、计算机技术
学科工学
版次第1版
出版社西安交通大学出版社
丛书名—
出版年2025.08
价格¥78.00
页码114页
类型 📄 纸质书
核心评分9.1/10
读者对象—
主题词—
内容简介：本书共六章，内容包括：碳化硅压阻式高温压力传感器设计、P型4H-SiC外延层的表征及金属/碳化硅电连接稳定性研究、基于碳化硅键合的密封腔结构制备工艺研究、碳化硅基压阻式高温压力传感器样机研制及测试等。
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