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集成电路先进工艺制造

著者陆卫，宋艳汝主编
ISBN9787547870440
分类号TN405 电子技术、通信技术
学科工学
版次第1版
出版社上海科学技术出版社
丛书名—
出版年2025
价格¥178.00
页码10, 436页
类型 📄 纸质书
核心评分8.6/10
读者对象—
主题词—
内容简介：本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发，融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术，深入浅出地探讨了集成电路制造的全过程。
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