← 返回

面向集成电路装备的静电卡盘静电力测量

著者王珂晟著
ISBN9787523618073
分类号TN405 电子技术、通信技术
学科工学
版次第1版
出版社中国科学技术出版社
丛书名—
出版年2025.12
价格¥78.00
页码216页
类型 📄 纸质书
核心评分9.3/10
读者对象—
主题词—
内容简介：静电卡盘是集成电路制造装备中的核心部件，其产生的静电力是一个非常重要的性能评价指标，开展静电力的精确测量具有十分明显的现实意义，也是目前业界亟待解决的关键问题之一。而现有的静电力测量方法均存在不少缺陷，极易产生系统误差，测量的准确性、可靠性和效率都有待提高。
登录后可荐购