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内容简介：本书介绍了MEMS惯性传感器分类和发展过程及趋势，分析了陀螺、加速度计等核心MEMS惯性传感器的工作原理，论述了多种典型传感器接口专用集成电路的原理、设计及应用，阐述了MEMS惯性传感器接口电路中的降噪、控制和补偿等关键技术，结合作者研究经验列举了典型的设计实例并给予剖析和总结。