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内容简介：本书阐述了基于扫描探针显微镜技术的大范围纳米制备与表征技术的最新研究进展，重点围绕跨尺度高性能纳米柔性运动台的设计与应用展开。首先，提出了一种无寄生旋转的柔性运动台设计方法，并通过力学建模、仿真与实验验证，实现了兼具毫米级行程与纳米级精度的运动台。其次，介绍了作者所研发的大范围、无拼接的扫描探针纳米表征系统，该系统显著提升了扫描效率，使连续表征幅面扩大至传统系统的百倍以上。再次，提出了大范围、无拼接的扫描探针纳米直写制备系统，该系统结合压电扫描器与运动台协同控制，实现了高速、高通量的纳米结构制备。最后，介绍了作者所开展的纳米直写工艺的实验研究，提出了统一的纳米制备结果评估体系，为纳米制备过程的智能化与高效化提供了理论与实践依据。