← 返回

高分辨电子束光刻技术及其应用

著者段辉高，梁惠康，陈艺勤著
ISBN9787118142563
分类号TG662 金属学与金属工艺
学科工学
版次第1版
出版社国防工业出版社
丛书名—
出版年2026
价格¥149.00
页码10,311页
类型 📄 纸质书
核心评分9.5/10
读者对象—
主题词—
内容简介：本书从装备、工艺、材料、应用四个方面向读者系统地介绍了电子束光刻技术及相关应用，引用了很多国内外科研团队以及作者团队开发的微纳加工工艺及器件应用实例。
登录后可荐购