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MEMS法珀腔光学声传感器

著者郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著
ISBN9787121466953
分类号TP212.4 自动化技术、计算机技术
学科工学
版次第1版
出版社电子工业出版社
丛书名工业信息化技术丛书
出版年2023
价格¥98.00
页码211页
类型 📄 纸质书
核心评分9.1/10
读者对象—
主题词—
内容简介：MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。
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