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硅基半导体应变理论与生长动力学

著者戴显英等著
ISBN9787560675039
中图分类O47 物理学
学科分类理学
版次第1版
出版社西安电子科技大学出版社
丛书名—
出版年2025
页码189页
价格¥47.00
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8.7/10
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📝 内容简介
本书分为9章,主要内容包括硅基半导体应变理论与技术、硅基半导体应变能带理论与空间群、应变锗能带结构计算、硅基半导体应变弹塑性力学理论、临界带隙应变Ge1-xSnx合金能带特性与迁移率计算、硅基半导体应变材料的RPCVD计算流体动力学模拟研究、硅基半导体应变材料CVD生长机理与生长动力学模型、硅基半导体应变材料的缺陷形成机理与控制方法、硅基半导体应变材料的生长动力学与制备实验。
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