📖 书目详情
高k栅介质材料与器件集成
| 著者 | 何刚主编 |
| ISBN | 9787302639145 |
| 中图分类 | TN304.2 电子技术、通信技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 清华大学出版社 |
| 丛书名 | 面向新工科的材料类基础教材丛书 |
| 出版年 | 2023 |
| 页码 | 272页 |
| 价格 | ¥79.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
9.6/10
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📝 内容简介
本书共10章，包括了集成电路的发展趋势及后摩尔时代的器件挑战，栅介质材料的基本概念及物理知识储备，栅介质材料的基本制备技术及表征方法；着重介绍了栅介质材料在不同器件中的集成应用，如高k与金属栅、场效应晶体管器件、薄膜晶体管器件、存储器件及神经形态器件等。
🏛️ 本馆馆藏信息
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