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工业等离子体原理与应用
| 著者 | 赵洪阳 ... [等] 编著 |
| ISBN | 9787302712497 |
| 中图分类 | O539 数理科学和化学 |
| 学科分类 | 理学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 清华大学出版社 |
| 丛书名 | 新形态材料科学与工程系列教材 |
| 出版年 | 2026 |
| 页码 | vii, 249页 |
| 价格 | ¥59.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
9.7/10
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📝 内容简介
本书以低温等离子体技术为切入点,结合作者多年来的研究进展,介绍了等离子体的基本特性、工作原理、产生方法,及其在功能薄膜制备、材料改性、集成电路制造等工业领域的应用。全书共8章,内容包括电荷在电磁场中的运动、电子源与电子束、等离子体的特性及其应用、暗放电、直流辉光放电和直流电弧放电、射频等离子体、微波等离子体原理及应用等。
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