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硅微机械陀螺误差建模理论与方法

著者申强[等]著
ISBN9787030739490
中图分类U666.12 交通运输
学科分类工学
版次第1版
出版社科学出版社
丛书名—
出版年2023
页码222页
价格¥150.00
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8.6/10
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📝 内容简介
本书共9章,以硅微机械陀螺为研究对象,通过数学物理方程推导微机电系统宏模型,采用对称拓扑设计微机械陀螺结构,制订简单、高效的工艺加工微机械陀螺,根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路,从而阐明硅微机械陀螺误差产生机理,并为减小误差提供研究思路。
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