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微电子工艺与装备技术
| 著者 | 夏洋，解婧，陈宝钦编著 |
| ISBN | 9787030751928 |
| 中图分类 | TN4 电子技术、通信技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 科学出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2023 |
| 页码 | 10227页 |
| 价格 | ¥88.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
8.6/10
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📝 内容简介
本书介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括：集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。
🏛️ 本馆馆藏信息
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