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光学镜面离子束修形理论、工艺与装备

📝 内容简介

本书详细介绍了作者自博士课题研究以来，多年对光学镜面离子束修形理论、工艺与装备的研究成果。主要内容包括离子束去除函数的建模与分析、离子束修形驻留时间求解算法与优化、离子束修形能力分析、离子束修形工艺中的误差分析、离子束修形工艺优化、离子束修形试验验证、离子束修形装备等。