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原子层沉积技术：原理及其应用
| 著者 | 李爱东[等]编著 |
| ISBN | 9787030820488 |
| 中图分类 | TB3 一般工业技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第2版 |
| 出版社 | 科学出版社 |
| 丛书名 | 南京大学材料科学与工程系列丛书 |
| 出版年 | 2025 |
| 页码 | 14636页 |
| 价格 | ¥160.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
9.7/10
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📝 内容简介
本书共分为十七章。包括原子层沉积的发展历史、原理、设备、生长材料及其前驱体和理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积等特色技术，涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化、含能材料、生物医学、封装、防腐、分离膜等领域的应用，还特别介绍了正在快速发展中的原子层刻蚀技术。
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