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III族氮化物的X射线衍射分析

📝 内容简介

本书以III族氮化物的X射线衍射分析为核心，系统地阐述了该技术在薄膜表征中的多方面应用。本书共7章，各章节内容既相互独立又有机联系。第1章概述了III族氮化物薄膜的研究现状、X射线衍射的基本原理及其在该材料体系中的应用背景；第2章深入探讨了X射线衍射在薄膜面内外取向关系分析中的具体应用；第3章重点介绍了原位X射线衍射技术及其在薄膜外延生长实时监测中的应用；第4章详细论述了X射线衍射测定薄膜晶格常数的技术要点，并对测量误差来源进行了系统分析；第5章全面阐述了X射线衍射在薄膜应力分析中的应用，包括应力来源、影响因素及优化策略；第6章着重探讨了X射线衍射技术在薄膜缺陷表征中的应用及其误差控制方法；第7章则从单层和多层结构两个维度系统介绍了X射线衍射在薄膜厚度及层数分析中的具体应用。