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金刚石膜粒子探测器材料

📝 内容简介

本书共十章，内容包括：自支撑金刚石膜的制备、金刚石膜表面导电性能研究、金刚石膜肖特基场效应晶体管、金刚石膜紫外光探测器、金刚石厚膜生长及其在微电子器件中的热沉应用等。