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半导体制造过程的批间控制和性能监控

📝 内容简介

本书基于当前半导体及类似行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和容错控制算法，以及在其控制下的性能评估和监控。第1章介绍半导体制造过程，包括国内外研究现状和发展趋势。第24章介绍批间控制方法及各种衍生方法。第57章讨论机台故障对系统性能的影响，提出多种批间容错控制算法，采用TS模糊模型来处理未知的随机度量时延，并建立批次过程的补偿批间算法。第811章介绍批间控制器对制造过程的影响，利用输入输出数据提出批间控制器的模型匹配因子，得到建模质量指标。