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半导体厂务项目工程管理

著者沈晓宇,王栋,戴丽华主编
ISBN9787111796831
中图分类F407.63 经济
学科分类经济学
版次第1版
出版社机械工业出版社
丛书名先进半导体产教融合丛书
出版年2026
页码194页
价格¥78.00
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核心评分
8.6/10
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📝 内容简介
本书共7个单元,具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。
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