📖 书目详情
原子层沉积制造技术及生物传感应用
| 著者 | 刘磊著 |
| ISBN | 9787122451248 |
| 中图分类 | TP212.3,TB383 自动化技术、计算机技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 化学工业出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2024 |
| 页码 | 224页 |
| 价格 | ¥158.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
9.8/10
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📝 内容简介
本书介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，内容包括：原子层沉积(ALD)技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。
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