📖 书目详情
光刻胶材料评测技术—从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶:
| 著者 | (日) 关口淳著 |
| ISBN | 9787122438003 |
| 中图分类 | TQ572.4 化学工业 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 化学工业出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2024 |
| 页码 | 254页 |
| 价格 | ¥198.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
8.4/10
|
📝 内容简介
本书从光刻技术基础知识出发, 系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术, 以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术, 希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。
🏛️ 本馆馆藏信息
本馆暂无该书的馆藏记录，可在线借购