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压电薄膜体声波谐振器及滤波器设计

📝 内容简介

本书主要讲述压电薄膜体声波谐振器的工作原理，推导FBAR的电学阻抗表达式，由此构建其Mason模型，对其底电极、顶电极、压电层的结构参数，以及有效谐振面积对器件谐振频率的影响进行模拟仿真与验证，并针对FBAR的温度漂移提出有效的温度补偿措施；其次介绍FBAR的二维与三维建模过程，利用有限元分析法研究FBAR的电极形状、面积及器件结构对谐振模态的影响，并从有限元分析中提取相关损耗参数，修正和提高Mason电学模型的精度；最后分析FBAR滤波器的工作原理，从滤波器的级联方式、串并联FBAR的有效谐振面积比、滤波器的级联阶数等方面进行研究，给出FBAR滤波器优化设计过程。