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原子层沉积技术：从制造原理到装备应用：from manufacturing principles to equipments and applications

📝 内容简介

本书围绕原子层沉积技术，针对原子层沉积工艺、纳米结构可控制造方法、智能制造装备研发、应用等方面进行阐述，全书共分为9章。其中第1章阐述了原子层沉积技术的基本原理与工艺，第2-3章分别介绍了平面型原子层沉积、粉末原子层沉积的方法与装备；第4章对选择性原子层沉积工艺方法进行了详细介绍；第5-9章讨论了原子沉积技术在光致发光、电致发光、柔性封装、热催化、能源材料等领域的应用，是前述章节理论方法的验证与拓展。