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机械量传感器与MEMS技术及应用

📝 内容简介

本书介绍机械量传感器及其应用，包括传感器静态、动态性能的标定与计算，传感器用基本弹性敏感元件的力学特性；机械量传感器用到的变电阻、变电容、变电感、压电式、谐振式等基本测量原理；力、力矩、速度、转速、角速度、加速度、振动、温度、压力以及流量传感器等；机械量传感器的典型应用实例。