📖 书目详情
传感器与MEMS设计制造技术
| 著者 | 朱真等编著 |
| ISBN | 9787118134001 |
| 中图分类 | TP212 自动化技术、计算机技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 国防工业出版社 |
| 丛书名 | 传感器与MEMS技术丛书 |
| 出版年 | 2024 |
| 页码 | 662页 |
| 价格 | ¥268.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
9.6/10
|
📝 内容简介
本书系统介绍了传感器与MEMS微系统的整体设计、制造基础,涵盖硅基及非硅基材料的加工制造工艺。详细阐述了从MEMS设计到封装集成的全生命周期技术,包括光刻、介质层加工、金属层加工等关键技术,并深入分析了每一步骤的技术原理及其优缺点,为理解这些微纳加工技术提供了全面的指导和参考。
🏛️ 本馆馆藏信息
本馆暂无该书的馆藏记录，可在线借购