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真空镀膜技术与应用

📝 内容简介

本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上, 着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等, 紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容, 最后详细阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。本书叙述深入浅出, 内容丰富而精炼, 工程实践性强, 在强化理论的同时, 重点突出了工程应用, 具有很强的实用性。