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微细加工技术

📝 内容简介

本书介绍了机械加工中广义的微细加工技术，以及狭义的微细加工技术在集成电路及硅太阳能电池制造领域的应用，并以碳化硅为例，介绍了第三代半导体，从而使大家理解和掌握微细加工技术的基础知识和常用微细加工的方法、基本原理及应用。