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微电子器件静电放电效应与防护

📝 内容简介

本书介绍了微电子器件静电放电效应规律、失效机理及防护技术，围绕微电子器件静电问题，包括静电放电敏感度评价方法、静电放电明显性失效分析、静电放电潜在性失效分析和静电防护技术等几个方面，反映了本领域的最新研究成果。