📖 书目详情
碳化硅压阻式高温压力传感器关键技术研究
| 著者 | 李永伟著 |
| ISBN | 9787569340266 |
| 中图分类 | TP212 自动化技术、计算机技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 西安交通大学出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2025.08 |
| 页码 | 114页 |
| 价格 | ¥78.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
8.1/10
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📝 内容简介
本书共六章，内容包括：碳化硅压阻式高温压力传感器设计、P型4H-SiC外延层的表征及金属/碳化硅电连接稳定性研究、基于碳化硅键合的密封腔结构制备工艺研究、碳化硅基压阻式高温压力传感器样机研制及测试等。
🏛️ 本馆馆藏信息
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