📖 书目详情
集成电路先进工艺制造
| 著者 | 陆卫，宋艳汝主编 |
| ISBN | 9787547870440 |
| 中图分类 | TN405 电子技术、通信技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 上海科学技术出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2025 |
| 页码 | 10, 436页 |
| 价格 | ¥178.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
9.6/10
|
📝 内容简介
本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发，融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术，深入浅出地探讨了集成电路制造的全过程。
🏛️ 本馆馆藏信息
本馆暂无该书的馆藏记录，可在线借购