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面向集成电路装备的静电卡盘静电力测量

📝 内容简介

静电卡盘是集成电路制造装备中的核心部件，其产生的静电力是一个非常重要的性能评价指标，开展静电力的精确测量具有十分明显的现实意义，也是目前业界亟待解决的关键问题之一。而现有的静电力测量方法均存在不少缺陷，极易产生系统误差，测量的准确性、可靠性和效率都有待提高。