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集成电路工艺实验
| 著者 | 谭永胜，方泽波主编 |
| ISBN | 9787577013763 |
| 中图分类 | TN405-33 电子技术、通信技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 电子科技大学出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2025 |
| 页码 | 99页 |
| 价格 | ¥42.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
10/10
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📝 内容简介
本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来讲述，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法，熟悉各大型设备的实际操作，即可在工艺线上单独流片，制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。
🏛️ 本馆馆藏信息
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