📖 书目详情
高分辨电子束光刻技术及其应用
| 著者 | 段辉高，梁惠康，陈艺勤著 |
| ISBN | 9787118142563 |
| 中图分类 | TG662 金属学与金属工艺 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 国防工业出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2026 |
| 页码 | 10,311页 |
| 价格 | ¥149.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
9.6/10
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📝 内容简介
本书从装备、工艺、材料、应用四个方面向读者系统地介绍了电子束光刻技术及相关应用，引用了很多国内外科研团队以及作者团队开发的微纳加工工艺及器件应用实例。
🏛️ 本馆馆藏信息
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