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耐高温压电声表面波传感器关键技术研究

📝 内容简介

本书紧扣航空航天、高端装备制造等领域对极端高温传感技术的迫切需求，阐述了耐高温声表面波(surface acoustic wave，SAW)压电传感器的基础理论、设计方法、制造工艺与测试方法，为解决极端高温环境下力热参数的精准测量难题提供解决思路。本书首先分析声表面波在高温条件下的传播特性与压电材料的应用特性，阐述声表面波器件的工作原理与设计方法，建立温度、振动、应变、压力等参数的传感模型，分析不同物理量作用下器件的响应规律。在此基础上，开展硬脆压电晶片刻蚀、高温热压键合、耐高温电极防护等工艺研究，研制振动、应变及多参数集成传感器。搭建高温无线传感测量与解调系统，并完成器件在高温环境下的性能测试与验证。