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微机械谐振器串并联敏感理论

📝 内容简介

全书内容涵盖微机械谐振器的基本理论、动力学建模方法、耦合谐振器中的模态局部化机理，以及模态局部化传感器的灵敏度、噪声特性、分辨力、共模噪声抑制特性、输出线性化方法和闭环驱动检测技术等，并结合典型传感器实例，阐述了并联敏感系统的滤波方法与实现途径。