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MEMS法珀腔光学声传感器
| 著者 | 郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著 |
| ISBN | 9787121466953 |
| 中图分类 | TP212.4 自动化技术、计算机技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 电子工业出版社 |
| 丛书名 | 工业信息化技术丛书 |
| 出版年 | 2023 |
| 页码 | 211页 |
| 价格 | ¥98.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
8.7/10
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📝 内容简介
MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。
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