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微电子制造科学原理与工程技术
| 著者 | (美)Stephen A. Campbell著,严利人，梁仁荣译 |
| ISBN | 9787121447464 |
| 中图分类 | TN405 电子技术、通信技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第2版 |
| 出版社 | 电子工业出版社 |
| 丛书名 | — |
| 出版年 | 2023 |
| 页码 | 11,595页 |
| 价格 | ¥159.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
8.8/10
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📝 内容简介
本书对微纳制造技术的各个领域进行了介绍，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺，不仅介绍了它的物理和化学原理，还描述了用于集成电路制造的工艺设备。
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