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等离子体刻蚀工艺及设备
| 著者 | 赵晋荣主编 |
| ISBN | 9787121450181 |
| 中图分类 | TN305.7 电子技术、通信技术 |
| 学科分类 | 工学 |
| 版次 | 第1版 |
| 出版社 | 电子工业出版社 |
| 丛书名 | 集成电路系列丛书:集成电路产业专用装备 |
| 出版年 | 2023 |
| 页码 | 14,164页 |
| 价格 | ¥98.00 |
| 可推荐册数 | 请登录后查看 |
| 核心评分 |
9.5/10
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📝 内容简介
本书介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。
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